平面柔性微定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)分析與優(yōu)化

摘要： 為設(shè)計(jì)具有良好靜動(dòng)態(tài)特性的柔性微定位平臺(tái)，提出了兩種基于柔性梁與圓弧形柔性鉸鏈所組成的柔性模塊的柔性運(yùn)動(dòng)副。首先，基于該運(yùn)動(dòng)副設(shè)計(jì)了新型平面2自由度微定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)；其次，采用柔度矩陣法建立了平臺(tái)力-位移關(guān)系及輸出位移的理論模型，基于傳遞矩陣法建立了平臺(tái)固有頻率與瞬時(shí)動(dòng)力響應(yīng)的理論模型，并通過(guò)有限元仿真驗(yàn)證了理論模型的正確性。理論研究與仿真驗(yàn)證表明，平臺(tái)具有較高的靜動(dòng)態(tài)性能，其輸... （共12頁(yè)）