單模電注入面發(fā)射激光器研究進(jìn)展

摘要： 互聯(lián)網(wǎng)、超算中心、數(shù)據(jù)中心光互連等高速光通信領(lǐng)域，以及激光雷達(dá)、顯示等應(yīng)用，均對(duì)半導(dǎo)體激光器提出單模、單偏振態(tài)、高速、高功率等更高性能要求。本文梳理了以垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）、光子晶體面發(fā)射激光器等為主的電注入表面發(fā)射型半導(dǎo)體激光器的研究進(jìn)展，包括：為了同時(shí)實(shí)現(xiàn)單模和單偏振性，設(shè)計(jì)表面光柵、浮雕和高折射率對(duì)比度光柵VCSEL；為了實(shí)現(xiàn)單模高速特性，引入鋅擴(kuò)散區(qū)、建立橫... （共14頁）