柔性定位平臺(tái)屈曲分析及優(yōu)化設(shè)計(jì)

摘要： 超高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是一種超精密定位設(shè)備，柔性定位平臺(tái)對(duì)宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的穩(wěn)定性起到至關(guān)重要的作用。為增加它的穩(wěn)定性和安全性，采用有限元方法，通過(guò)靜力分析、屈曲分析和響應(yīng)面優(yōu)化設(shè)計(jì)，來(lái)提高柔性定位平臺(tái)綜合性能。建立柔性定位平臺(tái)三維模型，對(duì)模型進(jìn)行有限元分析，得到最大等效應(yīng)力、最大等效應(yīng)變和負(fù)載乘數(shù)數(shù)據(jù)和云圖。以柔性定位平臺(tái)槽的尺寸和位置為優(yōu)化變量，以負(fù)載乘數(shù)、最大等效應(yīng)力及最大等... （共6頁(yè)）