MEMS集成爆炸箔芯片的發(fā)火性能研究

摘要： 為了實現(xiàn)高速飛片輸出和爆炸箔起爆器（Exploding Foil Initiator, EFI）低能發(fā)火，依據(jù)EFI工作原理，進行Cu橋箔電熱仿真、PC（聚氯代對二甲苯）飛片沖擊作用參數(shù)計算和SU-8加速膛結(jié)構(gòu)確定?；诮Y(jié)構(gòu)設(shè)計參數(shù)，采用微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）工藝實現(xiàn)了爆炸箔芯片一體化批量制備，并開展了MEMS集... （共7頁）