DN800型低溫泵的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)

摘要： 某型真空環(huán)境實(shí)驗(yàn)裝置采用泵口法蘭直徑800 mm的低溫真空泵作為解決方案，實(shí)現(xiàn)大抽速、無油潔凈的抽空需求。該型低溫真空泵采用2臺(tái)GM制冷機(jī)作為制冷源，不需要低溫液體輔助冷卻。2臺(tái)GM制冷機(jī)總計(jì)可以提供220 W@77 K、12 W@16 K的制冷量，超過了低溫泵的系統(tǒng)熱負(fù)荷，存在一定的富裕制冷量。在對(duì)該型低溫泵的泵殼體、障板、吸附陣等關(guān)鍵部件的設(shè)計(jì)時(shí)，按照低溫泵的相關(guān)理論公式進(jìn)... （共6頁）