基于柔性機(jī)構(gòu)的二維共面精密運(yùn)動平臺設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)

摘要： 基于復(fù)合簧片型柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)了一種大行程二維共面精密運(yùn)動平臺，運(yùn)用材料力學(xué)彎矩變形理論分析了平臺的剛度和最大行程。在滿足材料最大應(yīng)力約束的條件下，對導(dǎo)向機(jī)構(gòu)進(jìn)行結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計(jì)，加工精密運(yùn)動平臺實(shí)驗(yàn)樣機(jī)，搭建了平面度測量平臺。對16mm×16mm行程內(nèi)運(yùn)動平面的平面度測量實(shí)驗(yàn)分析結(jié)果表明，x軸直線度誤差為0.08μm,y軸直線度誤差為0.11μm,平面度為(0.26±0.12)μ... （共7頁）