金屬篩網(wǎng)在鎵基液態(tài)金屬校準(zhǔn)激光干涉儀中引入的誤差分析

摘要： 以液態(tài)金屬平面作為基準(zhǔn)標(biāo)定立式激光干涉儀時(shí)，由于液態(tài)金屬的高反射率會(huì)導(dǎo)致光強(qiáng)無(wú)法匹配，難以得到對(duì)比度良好的干涉圖。為解決這一問(wèn)題，采取利用金屬篩網(wǎng)的衰減光強(qiáng)方法。該方法利用金屬篩網(wǎng)的衍射效應(yīng)來(lái)衰減光強(qiáng)，使得光強(qiáng)匹配，并進(jìn)一步分析金屬篩網(wǎng)目數(shù)的選擇以及如何抑制引入的誤差。推導(dǎo)了零級(jí)衍射效率與篩網(wǎng)目數(shù)的關(guān)系，并在Zygo GPI4英寸干涉儀中進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，結(jié)果表明：篩網(wǎng)目數(shù)選擇區(qū)間... （共7頁(yè)）

干涉測(cè)量金屬篩網(wǎng)液面絕對(duì)檢驗(yàn)鎵基液態(tài)金屬干涉儀誤差標(biāo)定