基于磁控濺射的Pt/PtRh高溫薄膜熱電偶傳感器集成工藝

摘要： Pt/PtRh為高溫薄膜熱電偶敏感材料，Al₂O₃和SiO₂為復(fù)合絕緣層材料，采用磁控濺射法成功制備Pt/PtRh薄膜熱電偶及Al₂O₃/SiO₂復(fù)合型上下絕緣層，并通過掩膜-沉積法實(shí)現(xiàn)薄膜熱電偶圖案化制備。結(jié)果表明：制備的復(fù)合絕緣層Al₂O₃/SiO₂能夠有效保證高溫薄膜熱電偶傳感器在1200℃高溫下的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性。Pt/PtRh熱電偶陣列精度達(dá)到20... （共7頁）