大行程磁阻驅(qū)動(dòng)微定位平臺(tái)及其軌跡跟蹤控制

摘要： 麥克斯韋磁阻驅(qū)動(dòng)器克服了傳統(tǒng)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器行程小及音圈電機(jī)推力密度和效率低等難題，在大行程高速微納米定位中具有極大的應(yīng)用潛力。設(shè)計(jì)了一種基于麥克斯韋磁阻驅(qū)動(dòng)的大行程二自由度柔順微定位平臺(tái)，并對(duì)其進(jìn)行了高性能軌跡跟蹤控制。該定位平臺(tái)由2個(gè)永磁偏置的麥克斯韋磁阻驅(qū)動(dòng)器和二自由度并聯(lián)解耦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)組成，平臺(tái)利用磁阻驅(qū)動(dòng)器的非線性負(fù)剛度來部分補(bǔ)償柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的彈性恢復(fù)力，有效提高了運(yùn)... （共10頁）