基于等溫容腔的氣動(dòng)隔振H∞主動(dòng)控制

摘要： 氣動(dòng)隔振是精密儀器和半導(dǎo)體制造中保持清潔、微振動(dòng)工作環(huán)境的關(guān)鍵系統(tǒng)。被動(dòng)氣動(dòng)隔離不能滿足低頻隔振的需求，甚至?xí)a(chǎn)生共振現(xiàn)象。開發(fā)了一種基于等溫容腔的主動(dòng)氣動(dòng)隔振器，并采用H∞控制方法抑制低頻振動(dòng)的干擾。首先，將等溫材料填充到隔振器的腔室中，以減少充氣和放氣過程中溫度變化的影響。然后，基于魯棒H∞控制理論，設(shè)計(jì)了一種能夠抑制低頻振動(dòng)擾動(dòng)、魯棒性高的控制器。最后，應(yīng)用1～10 Hz... （共8頁）