雙頻磁場分時激勵的新型單列絕對式直線時柵位移傳感器

摘要： 針對小體積安裝、高精度直線位移測量需求，基于雙頻磁場分時激勵方案和外差降頻原理，設(shè)計了一種新型單列絕對式直線時柵位移傳感器結(jié)構(gòu)，解決提高傳感器激勵信號頻率來獲得高信噪比與高分辨力之間的矛盾。首先，建立平面線圈瞬態(tài)磁場耦合模型，構(gòu)建單列絕對式直線時柵測量模型及其傳感機(jī)理，其對極數(shù)互質(zhì)絕對位置解算方案避免實(shí)際使用中測量誤差對解算結(jié)果的影響；通過電磁場仿真對比分析了不同形狀感應(yīng)線圈與... （共15頁）