面向OCT應用的氮化硅波導基超寬帶片上光源

摘要： 光學相干層析成像（Optical Coherence Tomography,OCT）技術具有非侵入、高分辨率、可實時成像等優(yōu)點，在生物醫(yī)學、材料學及紅外傳感等眾多領域被廣泛應用。設計了一種基于氮化硅（Si3N4）的脊形懸空光波導，基于時域有限差分法對所設計波導的主要結構參數(shù)進行了優(yōu)化，并研究了該波導中產生的超連續(xù)譜特性。數(shù)值模擬結果表明，在脊寬=750 nm、脊高=700 nm... （共13頁）