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MEMS速率陀螺儀力平衡控制回路相位誤差分析與驗(yàn)證

光學(xué)精密工程 頁(yè)數(shù): 12 2024-10-25
摘要: 為明晰基于力平衡(Force to Rebalance,FTR)檢測(cè)模式的MEMS速率陀螺儀中相位誤差對(duì)陀螺儀靜態(tài)和動(dòng)態(tài)性能的影響規(guī)律,構(gòu)建了包含相位誤差的FTR速率控制回路模型,以此分析不同相位誤差對(duì)動(dòng)靜態(tài)性能的影響。首先,介紹了采用FTR速率模式的陀螺儀基本原理,簡(jiǎn)要分析了相位誤差對(duì)驅(qū)動(dòng)模態(tài)的影響。接著,提出了包含反饋通路和前向通路相位誤差的FTR速率控制回路模型,并對(duì)該模... (共12頁(yè))

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