基于鏡像異質(zhì)三周期光子晶體介觀壓光效應(yīng)的加速度傳感器

摘要： 利用鏡像異質(zhì)三周期光子晶體的介觀壓光效應(yīng),用其來代替?zhèn)鹘y(tǒng)壓阻式加速度傳感器中的壓敏電阻膜,設(shè)計(jì)出一種新型的高靈敏度加速度傳感器。該加速度傳感器采用四端固定梁結(jié)構(gòu),有效地消除了偏軸效應(yīng),具有很好的穩(wěn)定性,在室溫下其可測(cè)量的加速度范圍為0~137 g n。利用ANSYS軟件對(duì)所設(shè)計(jì)的光子晶體加速度傳感器進(jìn)行靜態(tài)分析和模態(tài)分析?？梢钥闯鲈趹冶哿焊烤哂凶畲蟮膽?yīng)變值,而且第一模態(tài)頻率與其他模態(tài)頻率相差較大,可以有效降低交叉耦合。將光子晶體置于懸臂梁根部具有最大的感應(yīng)靈敏度。這種加速度計(jì)具有很大的優(yōu)勢(shì)運(yùn)用到以后的航天,軍事等領(lǐng)域。 （共5頁(yè)）