基于動態(tài)MANCOVA的混合制程虛擬測量算法

摘要： 在晶圓/液晶面板等批次加工過程中,產品質量的及時估計與品質管制是提高產能和降低成本的有效途徑.針對"少量多樣"的混合制程,利用逐步回歸算法挑選該制程的關毽變量,引入產品的效益因子,建立混合制程的虛擬測量模型;為克服系統(tǒng)擾動對模型精度的影響,以產品效益因子為狀態(tài)量建立該制程的狀態(tài)方程,利用Kalman濾波器遞歸估計模型參數得到動態(tài)的MANCOVA模型;最后通過某濕式蝕刻制程的工程應用驗證了該算法的有效性. （共5頁）