AT切石英;濕法腐蝕;制作工藝...[繼續(xù)閱讀]

    聲表面波;準(zhǔn)西沙瓦波;刻蝕結(jié)構(gòu);壓力傳感...[繼續(xù)閱讀]

    溫度敏感性;聲表面波(SAW)濾波器;分層級聯(lián);全波仿真...[繼續(xù)閱讀]

    橫向耦合;極窄帶;聲表面波濾波器;物理場COMSOL軟件;相對帶寬...[繼續(xù)閱讀]

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    干法刻蝕;刻蝕速率;橫向激勵(lì);機(jī)電耦合系數(shù);薄膜體聲波諧振器...[繼續(xù)閱讀]

    X切鈮酸鋰薄膜;水平剪切聲表面波;有效機(jī)電耦合系數(shù);頻率溫度系數(shù);聲表面波諧振器;超寬帶聲表面波濾波器...[繼續(xù)閱讀]

    壓電微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件;C波段射頻濾波器;橫向激勵(lì)薄膜體聲波諧振器(XBAR);多頻率;高集成...[繼續(xù)閱讀]

    微動(dòng)平臺;壓電驅(qū)動(dòng)器;液壓放大;雙向流固耦合;試驗(yàn)研究...[繼續(xù)閱讀]

    壓電換能器;熱釋電效應(yīng);信號幅值增大;ESD保護(hù)電路;改進(jìn)型二極管鉗位電路...[繼續(xù)閱讀]